日本UNION公司THS-10是一款基于光學(xué)焦距檢測方法.結(jié)合兩個顯微光學(xué)系統(tǒng)（表面和底面），采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖象時，既可測量厚度，測量厚度10毫米,可選:25毫米。本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng)，操作簡單。可清楚顯示準(zhǔn)確的對焦位。

案例:非接觸測量 易拉罐沖壓后的厚度測量,晶圓厚度的直接測量. 測量誤差1微米,讀數(shù)精度0.1微米

測量行程XY 100*100毫米 測量誤差1微米

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